AFSEM

AFSEM（掃描電鏡專用原位AFM探測系統）是一款緊湊型，適用於真空環境的AFM模組。AFSEM能夠集成到SEM/FIB等成像或製備系統中，完成在SEM/FIB真空腔中的原位AFM測試。

基本介紹

• 中文名：AFSEM 
• 用途：In-Situ AFM Analysis

優勢

掃描電子顯微鏡SEM中進行原位AFM分析

AFSEM技術實現了AFM和SEM的功能性互補，使SEM可以同時實現樣品的高解析度成像，真實的三維形貌，精確的高度、距離測量，甚至是材料的導電性能。做到這一點只需要將AFSEM懸臂探針的位置移動到SEM下需要觀察的樣品位置進行探測。

AFSEM可與大多數SEM兼容

AFSEM適用於大多數SEM或雙光束（SEM/FIB）系統，可以直接安裝在系統腔室的倉門上，同時樣品台保持不變。此外，AFSEM採用自感應懸臂探針，無需雷射與感測器。

SEM-AFM 協同分析

對於需要使用SEM和AFM這兩種的成像技術的樣品分析，AFSEM可以一次快速搞定，直接獲取感興趣區域的三維定量信息。

AFSEM與SEM分析技術緊密配合

AFSEM小巧的設計維護了SEM功能的完整性，可以實現與其他標準的掃描電鏡分析技術結契約時使用，如常規FIB、FEBID和EDX，以及SEM中可搭配的拉伸機，應力測試，機械手等。

AFSEM示意圖

套用

AFM探測模組與SEM/FIB等系統的表征/製備功能聯用，可充分獲取材料的形貌及物性（力、電、磁、表面化學成分等）信息。