容易使用的4200-SCS型半導體特性分析系統用於實驗室級的器件直流參數測試、實時繪圖與分析,具有高精度和亞fA級的解析度。它提供了最先進的系統集成能力,包括完整的嵌入式PC機,Windows作業系統與大容量存儲器。其自動記錄、點擊式接口加速並簡化了獲取數據的過程,這樣用戶可以更快地開始分析測試結果。其它一些特徵使得應力測量功能能夠滿足各種可靠性測試的需求。
基本介紹
- 中文名:4200-SCS型半導體特性分析系統
- 類型:分析系統
- 用途:實驗室級的器件直流參數測試、實時繪圖與分析
特徵,配件套用,儀器套用,套用套件,
特徵
* 直觀的、點擊式Windows操作環境
* 獨特的遠端前置放大器,將SMU的解析度擴展至 0.1fA
* 用於高級半導體測試的新型脈衝與脈衝式I-V功能
* 集成了示波與脈衝測量功能的新型示波卡
* 內置PC提供快速的測試設定、強大的數據分析、製圖與列印、以及測試結果的大容量存儲
* 獨特的瀏覽器風格的軟體界面,根據器件的類型來安排測試,可以執行多項測試並提供測試序列與循環控制功能
* 內置了Stress/Measure,循環和數據分析功能,通過滑鼠點擊方式就可進行可靠性測試,包括5個JEDEC規範的樣品測試
* 支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開關矩陣與Agilent 81110脈衝發生器等多種外圍設備
* 硬體由 Keithley互動式測試環境(KITE)來控制,用戶測試模組功能,可用於外接儀表控制與測試平台集成,是KITE功能的擴充
* 包括驅動軟體,支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300,Micromanipulator 的8860自動和手動探針台
* 支持先進的半導體模型參數提取,包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso
配件套用
4210-MMPC-C,4210-MMPC-C型高精確三同軸線纜工具箱(用於Cascade Microtech Probers)
4210-MMPC-S,4210-MMPC-C型高性能三同軸電纜套件(配合級聯微技術探頭使用)
LR8028,LR:8028型成分測試夾具-最佳化設備測試到200V/1A
4200-SMU,4200-SMU型4200-SCS中等功率源-測量單元(100mA~100fA,200V~1uV,2W)
4210-CVU,4210-CVU型1kHz~10MHz電容電壓測量單元
4210-SMU,4210-SMU型4200-SCS高功率源-測量單元(1A~100fA,200V~1uV,20W)
4200-PA,4200-PA型4200-SMU和4210-SMU遠程前置放大器選件
4205-PG2型雙通道脈衝發生器
4200-SCP2型雙通道示波器卡
4200-SCP2HR型200MS雙通道示波器卡
儀器套用
* 4225-PMU超快I-V模組
* 4220-PGU脈衝發生器單元(僅電壓源)
* 4225-RPM遠程放大器/開關
* 4200-SMU中等功率源測量單元
* 用於4200-SCS的4210-SMU高功率源測量單元
* 用於4200-SMU和4210-SMU的4200-PA遠程前置放大器選件
* 4210-CVU 1kHz - 10MHz電容電壓測量單元
* 4200-SCP2雙通道示波器卡
* 4200-SCP2HR 200MS雙通道示波器卡
套用套件
* 4225-PMU超快I-V模組