《高Q值低功耗小型化矽基60GHz無源器件模型研究》是依託上海交通大學，由周亮擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：高Q值低功耗小型化矽基60GHz無源器件模型研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：周亮
- 依託單位：上海交通大學
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
高Q值、低功耗小型化矽基無源器件是毫米波段60GHz民用無線局域通信系統發展的瓶頸之一。本課題擬針對90納米和65納米CMOS工藝下60GHz頻段無源器件的三維模型建立、數值最佳化分析和實驗比較測量等方面進行深入研究。具體包括（1）60GHz頻段具有不同形狀的矽基三維單層、多層無源器件的電磁-熱一體化等效電路模型建立、數值分析、分布參數提取；（2）矽基無源器件中超寬頻段導體損耗和襯底渦流損耗的電磁場快速數值分析；（3）小型化矽基無源器件的高品質因素(Q)、高自諧振頻率和低功耗等關鍵性能參數的數值最佳化實現方法和設計準則；（4）60GHz波段矽基無源器件的性能參數實驗測量和模型比較研究。本課題的研究將直接滿足90納米和65納米先進CMOS工藝下低成本民用60GHz無線通信系統中高性能、低功耗和小型化無源器件套用新要求，為矽基毫米波段集成器件與電路的發展提供理論方法基礎和專門關鍵技術。
結題摘要
本項目對高Q值、低功耗小型化無源器件進行了研究。它是毫米波段民用無線局域通信系統發展的基礎。本課題針對90納米和65納米CMOS工藝下60GHz頻段無源器件的三維模型建立、數值最佳化分析和實驗比較測量等方面進行較為深入地研究。獲得了具有不同形狀的矽基三維單層、多層無源器件的電磁-熱一體化等效電路模型、進行了數值分析和分布參數提取；對小型化無源器件(包括碳納米電感等)高品質因素(Q)、高自諧振頻率和低功耗等關鍵性能參數的數值最佳化實現方法和設計準則進行了研究；完成了無源器件的性能參數實驗測量和模型比較研究。本課題的研究可以直接滿足低成本民用無線通信系統中高性能、低功耗和小型化無源器件套用新要求，本項目圓滿地完成了計畫書中規定的研究內容，實現了規定的科學目標。發表標註了本項目資助的學術論文12篇，其中國際學術刊物論文5篇，包括IEEE刊物論文2篇，申請發明專利3項。
