高頻探針測試台是一種用於物理學領域的電子測量儀器，於2015年3月16日啟用。
基本介紹
- 中文名：高頻探針測試台
- 產地：中國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2015年3月16日
- 所屬類別：電子測量儀器 > 射頻和微波測試儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1）載物台：6寸，平整度≤±3μm。XY移動範圍：150㎜*150㎜，移動精度5μm。雄仔旋轉360°粗察凳捉調±8°微調，微調精度高於0.008°。載物台可快速拖出行程90㎜。2）探針台放置平台：細調升降範圍40㎜，精度霉懂凝10μm。快速升降幅度0-6㎜。超精細調節升降行程2㎜，精度為0.5㎜。往復精度優於1μm。3）顯微鏡：連續白宙和紙切變倍≥10X；物鏡≥20X；總放大倍率≥200X。XY方向移動行程50㎜*50㎜，精度優於5μm。4）探針座：XYZ方向移動行程25㎜*25㎜*25㎜，朽拜嚷移動精度5μm。兼容Agilent，OML,VDI等品牌的擴頻模組。5）高頻測試附屬檔案：DC-67GHz、75-110GHz、140-220GHz高頻探針及連線附屬檔案。6）防震桌：固有頻率＜2.5Hz。7）附屬檔案：配備DDC、真空泵、空氣壓縮機（噪音低於40db）虹放戀試。
主要功能
該設備功能為實現高頻率器件（頻率高達220GHz）的電性能測試。使用範圍廣泛，在其操作平台上結合頻譜分析儀、矢量網路分析儀、電性能測試系統台墊鞏等能完成各種相關測試。
