《高精度柔性薄膜旋塗-超低溫磨削複合製備方法研究》是依託大連理工大學,由閆英擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：高精度柔性薄膜旋塗-超低溫磨削複合製備方法研究
- 依託單位：大連理工大學
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：閆英
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
高精度聚合物柔性薄膜襯底的製備加工是柔性電子發展的關鍵技術之一。針對聚合物柔性薄膜目前難以實現高精度大面積製備的難題，本項目擬通過旋塗工藝最佳化提高聚合物薄膜的全局厚度均一性，在此基礎上使用超低溫磨削的方法提高局部平整性，並展開相關基礎理論研究。研究立足於建立考慮氣液界面以及固液界面的相變等因素的理論模型，深入揭示柔性聚合物薄膜旋塗成膜機理，提高大面積旋塗薄膜的厚度均一性；探索超低溫環境下實現“玻璃化”轉化的聚合物的物理特性，揭示磨削加工時的去除和損傷機理，研究聚合物柔性薄膜大面積高精度磨削加工方法，最終開發出高精度柔性薄膜旋塗-超低溫磨削複合製備方法。這一研究不僅對柔性電子的發展具有重要意義，也拓展了磨削加工的套用領域，為具有軟韌特性的聚合物材料的磨削加工工藝研究提供了理論基礎。
結題摘要
針對高精度聚合物柔性薄膜襯底的製備過程中厚度均一性難以精確控制的難題，本項目擬通過旋塗工藝最佳化提高聚合物薄膜的全局厚度均一性，並展開相關基礎理論研究。研究立足於建立考慮氣液界面以及固液界面的相變等因素的理論模型，深入揭示柔性聚合物薄膜旋塗成膜機理，提高大面積旋塗薄膜的厚度均一性；探索超低溫環境下聚合物磨削加工時的去除和損傷機理，研究聚合物柔性薄膜大面積高精度磨削加工方法，最終開發出高精度柔性薄膜旋塗-超低溫磨削複合製備方法。這一研究為具有軟韌特性的聚合物材料的磨削加工工藝研究提供了理論基礎。目前完成了聚合物PDMS平面、凹面、凸面旋塗試驗，並建立了平面旋塗過程離心力和表面張力協同作用的模型，結合凹面面形、凸面面形對薄膜厚度的影響規律，提出了通過面形控制實現薄膜厚度均一性的有效方法，為薄膜厚度的均一性提供了一種可行的思路。在此基礎上通過構建間隙旋塗裝置，通過進行間隙旋塗，能夠有效的實現薄膜厚度的均一性。進行了聚合物PDMS超低溫磨削初步試驗，為未來實現超低溫有效磨削打下了很好的基礎。
