高穩定性高溫壓力感測器的研究

《高穩定性高溫壓力感測器的研究》是依託天津大學，由姚素英擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：高穩定性高溫壓力感測器的研究
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：姚素英
• 依託單位：天津大學
• 負責人職稱：教授
• 批准號：69876027
• 研究期限：1999-01-01 至 2001-12-31
• 申請代碼：F0404
• 支持經費：13.5（萬元）

項目摘要

本項目採用矽熔鍵合和終止腐蝕相結合的方法研製半導體高溫壓力感測器。利用單晶矽的可靠性，高應變靈敏度和可重複的電學，機械特性，用單晶矽做應變電阻，介質膜隔離代替PN結隔離，提高感測器靈敏度，可靠性和工作溫度。用有限元法模擬計算應變膜的應力分布規律，進行最佳化設計及軟硬體補償。該感測器工藝簡單，適於高溫小型化，集成化。