高溫高真空納米壓痕儀

高溫高真空納米壓痕儀是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2019年10月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：高溫高真空納米壓痕儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2019年10月15日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

最大載荷：100 mN 載荷解析度：6Nn 最大縱向位移：50μm 位移解析度：0.1nm 極限真空度：10-6mbar 最高溫度：800℃ 溫度解析度：0.1℃ 最大加熱速度：50℃/min 真空顯微鏡最高放大倍數：2000Χ 動態力學模組頻率範圍：0.1-400Hz。

主要功能

高溫納米壓痕儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統，可獲得塊體材料尤其是薄膜和各種塗層等材料在800℃真空下的硬度和彈性模量等力學性能.可提供在高溫下的高穩定性測量。