基本介紹 中文名：高溫交聯光刻膠的固化技術 定義,原理,特點,套用, 定義高溫交聯光刻膠固化技術是指顯影后烘焙固化第一層光刻槳汗嚷膠海棵駝乘圖形，是另一種保護光刻膠圖形的方法。原理在第一層光刻膠想承格中加入溫度活化交聯劑，其活化溫度必須高於光刻膠軟烘（PAB）和曝光後烘烤的溫度。第一次顯影后，光刻膠圖形在更高溫度進行獄晚匪烘焙並發生交聯反應。特點交聯後的光刻膠捆應圖形不受第二次光刻工藝的影響。套用該工藝成功實現的關鍵照紙凝邀是開發可用的新光刻膠，使其在顯影后的高溫烘焙兵境記（PDB）中可以被固化。
