《高度混合製程的批間控制與性能評估》是依託江蘇大學，由潘天紅擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：高度混合製程的批間控制與性能評估
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：潘天紅
- 依託單位：江蘇大學
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
隨著半導體產業的發展，晶圓生產已從最初的單一模式發展到現在的多產品共線的高度混合生產形態，這對控制系統的設計與評估都提出了新的挑戰。本項研究在批間控制的框架下，深入研究高度混合製程的機台效應、產品效應、及其互動效應，提出晶圓品質模型辨識與非執行緒的狀態估計算法；在此基礎上，給出EWMA控制器調節參數與產品數量之間的關係矩陣，以改善量少產品的質量；並研究在信息傳輸的隨機時延條件下，批間控制器穩定性條件與魯棒性設計方法；協同先進統計理論，發展混合製程性能評估與故障診斷方法；結合典型半導體製程，開展實驗研究，形成一種面向實際需要的、系統化的半導體混合製程的模型辨識與批間控制器設計方法。由於直接面向實際工業生產需要解決的難點問題，本項研究具有極大的套用價值，且研究內容屬於過程控制與半導體製造的交叉領域，亦具有很強的創新性。
結題摘要
隨著半導體產業的發展，晶圓生產已從最初的單一模式發展到現在的多產品共線的高度混合生產形態，這對控制器的設計與評估都提出了新的挑戰。而控制器設計的首要步驟即為系統建模。然而，半導體機台FDC(Fault Detection and Classification)的海量、共線性、不同採樣速率數據，難以直接用於系統建模。為此，本項研究在批間控制的框架下，深入研究基於多率系統、關鍵變數篩選、多元統計分析、貝葉斯算法等的多種模型辨識算法；在此基礎上，給出多執行緒狀態估計、自適應控制器/帶時延EMWA控制器設計、以及控制器性能評估等若干方法，有效的改善控制系統的性能；此外，根據半導體生產過程的控制要求，本項目還討論了相關半導體的製造工藝；並結合典型半導體製程，開展了實驗研究，形成一種面向實際需要的、系統化的半導體混合製程的模型辨識與批間控制器設計方法。 本項目已發表學術論文33篇（其中：SCI收錄8篇，EI收錄17篇，ISTP收錄1篇；期刊論文19篇，會議論文14篇），中國發明專利12件（其中：授權中國發明專利9件，受理中國發明專利3件），培養博士研究生2名，碩士研究生6名。
