高密度存儲器-定義,高密度存儲器-特性,
高密度存儲器-定義
一動態隨機存取存儲器(DRAM)積體電路,包含一確定在一半導體基板內的凹陷區域。此凹陷區域具有自一底面延伸的基本上垂直的邊側。一場效三極體經確定以鄰接於該凹陷區域。一包含有下電容器板、電容介電體及上電容器板的電容器結構,確定在該凹陷區域中、該場效三極體上方,藉此提供較大的電容器表面。
高密度存儲器-特性
一種存儲器裝置,該裝置包括:一半導體基板,包含一凹陷區域,該凸陷區域具有由一底面延伸的側邊;一場效三極體,該 場效三極體包括一鄰接於該凹陷區域的源/汲極區域;一絕緣 層,覆蓋在該凹陷區域上;一下電容器板,覆蓋在該絕緣層上 ,並位於一部分該場效三極體上方,該下電容器板連線至該源 /汲源區域;一電容器介電體,覆介該下電容器板上;及一上電容器板,覆蓋在該介電層上。