《高保持力非易失性鐵電場效應電晶體特性研究》是依託華中科技大學，由於軍擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：高保持力非易失性鐵電場效應電晶體特性研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：于軍
- 依託單位：華中科技大學
- 批准號：60171012
- 申請代碼：F0122
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2002-01-01 至 2004-12-31
- 支持經費：22（萬元）
項目摘要
製備低界面態、低漏電流的高質量MF（I）S集成鐵電薄膜，設計製備低漏導電流（≤10負9畏紸/cm2）、高保持力（一個月以上）、具有一定存儲能力的非破壞性讀出Si基鐵電場效應電晶體器件原型。系統研究鐵電多層膜結構特性與漏電流、保持力以及疲勞特性的內在關係。探索提高非破壞性讀出鐵電存儲器性能及實現實用化的關鍵技術途經。
