預對準

在掩模固定的位置，設有預對準標識。預對準是由兩個發光二極體及其對應的光探測器組成。

基本介紹

• 中文名：預對準
• 外文名：Pre-alignment

機械手把晶圓安放在工件台上後，首先是要預對準。晶圓的預對準是通過對其邊緣的測定來實現的，即通過探測晶圓邊緣的缺口來完成。根據SEMI標準，晶圓邊緣必須有一個小缺口（notch），這個缺口可以是圓弧形的也可以是直線形的。

預對準標識是透光的，其周圍是不透光的。發光二極體在掩模的預對準標識上方照明，光線透過對準標識，被探測器接收。每個探測器分為對稱的四個區域，可以分別探測光信號，用來判斷其對應位置。