韓曉泉，男，中國科學院大學專任教師。
基本介紹
- 中文名：韓曉泉
- 畢業院校：中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
- 學位/學歷：博士
- 職業：教師
人物經歷,教育背景,工作經歷,科研成果,專利與獎勵,科研活動,發表論文,
人物經歷
教育背景
2000-09--2005-03 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 博士
1996-09--2000-06 四川大學 學士
工作經歷
2018.11-至今 中國科學院微電子所 副研究員，正高工
2005.04--2018.10 中國科學院光電研究院 助研，副研究員
科研成果
專利與獎勵
獎勵：
（1） 光刻準分子光源研發與產業化, 特等獎, 院級, 2016
（2） 車載系留氣球監測系統，特等獎，部委級，2010
（3）大功率全固態雷射器開發及產業化，一等獎, 部委級, 2008
專利：
(1) 一種準分子雷射脈衝能量穩定性控制方法及準分子雷射器，發明，2020，第1作者，ZL202011239030.X
(2) 一種準分子雷射脈衝能量穩定性控制方法及系統，發明，2019，第2作者，ZL201910122841.2
(3) 一種基於準分子雷射器的硬體互鎖控制系統及其方法, 發明，2019，第2作者，ZL 201910742243.5
(4) 一種準分子雷射器溫度控制裝置，實用新型，2019，第2作者，ZL201920130170.X
(5) 一種用於193nm光刻機中準分子雷射器的能量探測電路，實用新型，2019，第2作者，ZL201921081140.0
(6) 雷射器波長測量裝置及方法，發明，2018，第3作者，ZL202010244216.8
(7) 一種雷射器中心波長測量的溫漂反饋方法及裝置，發明，2018，第2作者，ZL201810107583.6
(8) 一種準分子雷射器能量探測器的能量值標定系統及方法，發明，2017，第2作者，ZL201711245937.5
(9) 一種絕對波長標定和校準裝置及其方法，發明，2016，第4作者，ZL 201610457734.1
(10) 一種調焦調平裝置，發明，2011，第2作者，ZL 201110319524.3
科研活動
參與會議
（1）Image Acquisition and MeasurementMotion positioning system DesignBased on the Projection Lens Wave Aberration Xiaoquan Han 2017-03-01
科研項目
(1) 表面顆粒檢測與控制技術，參與，部委級，2021.01-2023.12
(2) 浸沒式曝光光源產品研製與小批量生產能力建設/控制系統，主持，國家級，2016.01-2020.05
(3) 248nm KrF步進掃描雙工件台光刻機曝光光源開發，主持，國家級，2017.6-2020.05
(4) 248nm曝光光源產業化，主持，部委級，2018.01-2019.06
(5) SiC基紫外探測器件研製/探測器性能評估及產品開發，主持，部委級，2016.05-2019.07
(6) 40W 4KHz ArF曝光光源產品開發/控制系統，主持，國家級，2013.01-2020.05
(7)投影曝光光學系統檢測平台研製/控制系統，主持，國家級，2009.07-2015.12
發表論文
(1) Excimer Laser Model based on Temporal Convolutional Neural Network，Applied Optics, 2022，通訊作者
(2) 門控循環網路辨識準分子雷射器能量模型，中國雷射，2021，通訊作者
(3) 基於強化學習的準分子雷射器能量控制算法研究，中國雷射，2020，通訊作者
(4) 高重頻KrF準分子雷射器能量特性控制，紅外與雷射工程，2020，通訊作者
(5) 基於Smith預估補償的準分子雷射器溫度控制系統研究，量子電子學報，2018，第2作者
(6) Image Acquisition and Motion positioning system Design Based on the Projection Lens Wavefront Aberration Measurement，SPIE，2017，第1作者
(7) A design of energy detector for ArF excimer lasers，SPIE，2017，第2作者
(8) 準分子雷射器溫度控制系統設計，量子電子學報，2015，第2作者
(9) 基於LABVIEW的調焦控制系統研究，測試技術學報，2013，通訊作者
(10)Strap-down stabilization for multi-load optoelectronic imaging platform，Aircraft Engineering and Aerospace Technology，2012，第3作者
(11)Tracking technology for optoelectronic imaging platform of tethered balloon based on DGPS/INS，OPTO-ELECTRONICS REVIEW，2011，第4作者
(12)Vehicle tethered aerostat optoelectronic monitoring platform system for Shanghai World EXPO，ISPEM2010，第3作者
