靶室

中文名稱靶室
英文名稱target chamber
定  義放置注入樣品或工件的真空室。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),表面改性和塗層技術(四級學科)

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