《面向IC封裝的高速精密定位系統及關鍵技術》是依託天津大學，由趙興玉擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：面向IC封裝的高速精密定位系統及關鍵技術
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：趙興玉
- 依託單位：天津大學
- 批准號：50505032
- 申請代碼：E0503
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 支持經費：25（萬元）
項目摘要
針對當前國內外IC封裝裝備製造技術發展的趨勢和現狀，瞄準高技術IC製造裝備領域中的國際前沿課題，研究面向IC封裝產業的高速精密定位系統設計理論、關鍵技術和樣機建造技術。開發具有自主智慧財產權的基於音圈電機直驅的一類新型運動坐標解耦的高速精密定位系統，並對該類高速精密定位系統的結構動態設計方法、誤差建模、標定和補償方法、高速運動狀態下定位系統的精密反饋控制算法與實施策略、三自由度平動高速精密定位系統關鍵零部件製造與整機裝配和測試等關鍵技術進行深入研究，其研究成果對提高現有IC封裝裝備的精度和生產效率，提高國內IC製造裝備研發水平，帶動MEMS和超精密製造技術等相關產業的發展，均具有重要的研究意義和社會經濟效益。
