《面向量子功能器件製備的直寫式真空蒸發系統》是依託北京航空航天大學，由閆鵬擔任項目負責人的專項基金項目。
基本介紹
- 中文名：面向量子功能器件製備的直寫式真空蒸發系統
- 依託單位：北京航空航天大學
- 項目負責人：閆鵬
- 項目類別：專項基金項目
項目摘要,結題摘要,
項目摘要
本研究面向量子調控等基礎研究重大前沿方向，針對量子功能材料和器件製備中的多種工藝和精密度要求，突破現有真空蒸發技術的局限性，創新性的研製一種以納米移定位系統為核心技術的直寫式真空蒸發儀器。該儀器通過將高純度氣態靶材經過掩模控制形成高度定向，沉積率可控的靶材束流直接沉積在襯底基片上，並通過控制承載襯底基片的納米微動平台軌跡跟蹤運動，實現鍍膜幾何圖形或器件的拓撲結構，達到納米精度量子器件金屬化沉積成型的製備目的。本課題還將在研製儀器的基礎上，通過量子功能器件的製備完成對樣機性能測試，並形成一套基於新儀器的器件製備方法，推動量子和信息功能材料等相關科學研究的發展。
結題摘要
本項目按照申報書研究思路和計畫，針對以真空蒸發為製備手段的量子和微納器件對工藝、精密度和純度等一系列要求，圍繞直寫式真空蒸發儀器的研製，開展了納米微動系統設計建模和控制方面的基礎理論與算法研究，進而對新儀器硬體，電控，及系統集成進行了全面開發和研製，實現了微納量子器件的高精度金屬化沉積成型製備，並利用新儀器展開了二維器件和複合結構器件的製備工藝研究，實驗驗證及評估。本項目既推動了納米伺服系統相關理論和技術的發展，又為微納和量子器件直寫式製備提供了新儀器和新方法，並展現了在其他科研和儀器領域拓展的巨大潛力。
