非接觸式薄膜電阻測試系統

非接觸式薄膜電阻測試系統是一種用於物理學領域的計量儀器，於2012年05月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：非接觸式薄膜電阻測試系統
• 產地：美國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2012年05月15日
• 所屬類別：計量儀器 > 電磁學計量儀器

技術指標

方塊電阻測試範圍35mΩ/sq~3000 Ω/sq，測試標準偏差不大於0.41%，可測試晶片尺寸2~8英寸。

主要功能

測試半導體樣品的薄膜電阻。