非對稱性交流濺射

非對稱性交流濺射（asymmetric alternate current sputtering）是2013年公布的機械工程名詞，出自《機械工程名詞 第五分冊》第一版。

基本介紹

• 中文名：非對稱性交流濺射
• 外文名：asymmetric alternate current sputtering
• 所屬學科：機械工程
• 公布時間：2013年

定義

通過兩個電極間的非對稱性交流電壓，使氣體自持放電並把靶作為吸收較大正離子流電極的濺射。

出處

《機械工程名詞 第五分冊》第一版。