電漿電子溫度的控制用於反應粒子選擇的研究

《電漿電子溫度的控制用於反應粒子選擇的研究》是依託中國科學技術大學，由詹如娟擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：電漿電子溫度的控制用於反應粒子選擇的研究
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：詹如娟
• 依託單位：中國科學技術大學
• 批准號：19875053
• 申請代碼：A2907
• 負責人職稱：教授
• 研究期限：1999-01-01 至 2001-12-31
• 支持經費：15（萬元）

中文摘要

在由輝光放電產生的非平衡電漿中，電子溫度是一個重要的參量，它對電漿中反應粒子的產生、狀態等起決定作用，進而影響合成材料的性能和結構。本研究擬採用加金屬柵網及調整過程工藝參數等方法實現對電子溫度的控制，並用光譜、質譜和探針等研究電子溫度和反應粒子之間的關係，通過對電子溫度的控制來實現選擇反應粒子的目的。