電容位移感測器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器。
基本介紹
- 中文名：電容式位移感測器
- 釋義：非接觸電容式原理的精密測量儀器
- 特點：靈敏度高，零漂小
- 套用範圍：壓電微位移、振動台
簡介,套用範圍,性能,主要特點,
簡介
具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優點。在國內研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛套用，成為科研、教學和生產中一種不可缺少的測試儀器。
套用範圍
主要用於解決下述各種測量問題：
壓電微位移、振動台，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。
性能
電容式位移感測器的電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無機材料，如空氣、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高溫、低溫強磁場、強輻射下長期工作，尤其是解決高溫高壓環境下的檢測難題。
該感測器還可與控制室中的二次儀表或控制器相連，線上、連續、實時的檢測各種數據然後直接顯示，遠程控制和報警。實現數據存儲，積算、傳輸和控制功能。廣泛套用於各種注塑機中。
電容式位移感測器尤其適合緩慢變化或微小量的測量，一般來說採用電容式感測器進行檢測比較適宜。電容式位移感測器的這些性能必然促使其套用範圍越來越廣泛。
主要特點
量程：20～1250μm；
解析度：<0.1nm；零磁滯；
線性最高0.02%；
頻帶可調：50～5000Hz；
靈敏度可調：5～125μm/V；
真空兼容選項；
非接觸式測量方法；
