《電子隧道感測器的理論與技術研究》是依託清華大學，由李慶祥擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：電子隧道感測器的理論與技術研究
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：李慶祥
- 項目類別：面上項目
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：E0511
- 研究期限：1999-01-01 至 2001-12-31
- 批准號：59875052
- 支持經費：12（萬元）
項目摘要
微型電子隧道感測器靈敏度極高，是感測器高精度、微型化、集成化一個重要的發展方向，具有良好的產業前景．本課題擬研究微矽電子隧道感測器的設計原理，IC與微機械加工技術；微型加速度計等的控制技術、信號檢測與處理系統、性能測試，及其高精度、寬頻帶、低能耗、長壽命的產品化設計；感測器在低頻條件下的設計改進及信號處理辦法．.
