電子級(甲)矽烷electronic grade Silane無色、極活潑壓縮氣體，在空氣中自燃。廣泛用於外延沉積晶矽膜和生產多晶矽膜、一氧化矽膜以及氮化矽膜。
基本介紹
- 中文名：電子級（甲）矽烷
- 外文名：electronic grade Silane
- 沸點：1120 ℃
- 套用：外延沉積晶矽膜和生產多晶矽膜、一氧化矽膜以及氮化矽膜
氣體密度1.44kg!m3 [Ur.' , 101.3kPa);液體密度711kg/m-}(一185'. ]:.沸點一1120 熔點一184 . 7qC。具有今人窒息的氣昧與空氣混合後形成爆炸混合氣、與重金l}鹵化物和游離鹵素激烈反應;加熱到 約4U0℃開始分解成非晶態矽和氫，十6UU C'以土即以晶態矽 的形式分解出來。TLV SX 1U '(7mg!m}):,囚外大都採用氫化銼鋁法生產矽烷;也有用矽化鎂法，即矽化鎂與工業氯化鉸在液氦介質‘卜反應即生成矽烷，經so℃下的冷凝提純和 4A,5r1分子篩的深度提純可製得高純矽烷;矽烷廣泛用於外延沉積羊晶矽膜和生產多晶矽膜、一氧化矽膜以及氮化矽膜;在玻璃工業}I1,1}子製造單向透明的茶色玻璃;還可用於 製造非晶矽太陽電池，複印機的光敏部件等。
