電子探針X射線顯微分析

即運用電子所形成的探測針（細電子束）作為X射線的激發源，來進行顯微X射線光譜分析。基本原理是電子束經過電子光學系統如靜電或電磁透鏡聚焦到樣品中約1平方微米的區域，樣品經電子束的轟擊，輻射出X射線；通過X射線譜儀，對待測元素X射線譜的波長和強度進行測量，逐點地定性和定量分析。通過電子掃描同步系統和電子顯示，可使樣品中各種組成的分布情況，以放大的圖像直接顯示於螢光屏上。因此，電子探針X射線顯微分析儀是礦物研究工作中既能微觀觀察，又能同時分析微區成分的精密儀器。

學科：岩礦分析與鑑定

詞目：電子探針X射線顯微分析

英文：electron microprobe X-ray micro-analysis

釋文：它能分析直徑為1微米的物質，檢出限可低至10^-14～10^-15克。樣品分析後，不被破壞，屬非破壞性分析。套用已相當廣泛，主要用於岩石礦物的深度分析，如與薄片鑑定結合，檢測未知礦物及難辨礦物——片鈉鋁石、鈉沸石、皂石……如與陰極發光顯微鏡相結合，可揭示礦物的發光機制；如與掃描電鏡配合，可精確測定掃描電鏡下的各種粘土礦物及未知礦物，使形態觀察與成分分析密切聯繫；還可與X衍射分析結合，詳細測定各種礦物，包括混層粘土礦物的成分等等。總之，電子探針以其特長在分析鑑定微礦物、微成分方面，有著廣闊的套用前景。