《離子束及濺射沉積粒子互動作用對膜基界面的影響》是依託西安交通大學，由陳華擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：離子束及濺射沉積粒子互動作用對膜基界面的影響
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：陳華
- 依託單位：西安交通大學
- 批准號：59971035
- 申請代碼：E0103
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：2000-01-01 至 2002-12-31
- 支持經費：14（萬元）
中文摘要
研究不同能量及束流密度的單一或混合離子束與其他濺射沉積原子或原子團的互動作用對異質基材表面共混層深和選擇濺射的影響。著重考核這種互動作用在隨後的鍍膜沉積過程中對膜基結合強度以及離子輔助轟擊參數對鍍層緻密性及韌性的相互關係。結合組織成分微觀分析對離子束增強沉積界面共混，鍍層沉積工藝以及設備的選擇提供依據。
