陳旭南

陳旭南 ,1944年7月出生於浙江省縉雲縣。1968年畢業於浙江大學光學儀器專業。長期從事光電工程技術、微細加工光學設備技術以及波前工程技術領域研究。完成了PCA—100圖象彩色分析儀、AMIS—1掩模缺陷自動檢測儀、電視測量經緯儀、精密測角儀、高分辨力CCD拼接相機、實時測量系統多片面陣CCD拼接技術、亞微米i線g線投影光刻物鏡和提高投影光刻分辨力的離軸照明技術研究。

基本介紹

• 中文名：陳旭南
• 國籍：中國
• 民族：漢族
• 出生日期：1944年7月
• 畢業院校：浙江大學
• 出生地：浙江省縉雲縣
• 性別：男
• 政治面貌：民眾

還負責完成了中科院“八五”重大科研項目的“0.7—0.8微光i線投影光刻曝光系統”和國家科技攻關“0.8—1微米分步重複投影光刻機”研製。獲得中國科學院科技進步三等獎2項、二等獎2項、一等獎2項和國家科技進步三等獎1項。在國內外刊物上發表論文六十多篇。申請了“分辨力自增掩模板”等專利14項。帶研究生若干名。並正承擔著中科院“九五”重大科研項止“微電子專用設備技術研究”的關鍵單元技術研究，同時負責承擔國家處然科學基金研究課題，重點研究提高超大規模積體電路和光刻分辨力的波前工程熱點技術。