陝西省微納感測器工程技術研究中心

陝西省微納感測器工程技術研究中心是成立於2008年11月的陝西省研究機構，依託西安交通大學，主要研究方向是套用MEMS技術和方法，研究前沿高性能微納感測器，以及對重要行業有重大影響的微納感測器的批量製造和產業化關鍵技術，為微納感測器產業的新技術、新工藝、新裝備的研究提供了一個基礎平台。