《鈦白粉用積體電路製造行業廢硫酸》是實施的一項行業標準。
基本介紹
- 中文名：鈦白粉用積體電路製造行業廢硫酸
- 外文名：Waste sulfuric acid in titanium dioxide manufacturing industry
- 標準編號：T/SICA 001—2020
- 實施日期：2020年06月01日
- 發布日期：2020年04月29日
起草人,起草單位,主要內容,
起草人
徐偉、陶金龍、石建賓、何姚軍、張大煒、付篤、姚弘珏、孫茜、蔡靜莉、孟現隆
起草單位
上海市積體電路行業協會、上海華虹宏力半導體製造有限公司、中芯國際積體電路製造（上海）有限公司、上海華力積體電路製造有限公司、台積電（中國）有限公司、上海積塔半導體製造有限公司、上海澎博鈦白粉有限公司
主要內容
本標準規定了在用硫酸法工藝生產鈦白粉時，採用積體電路製造行業廢硫酸的要求，主要技術指標為 ，硫酸（H2SO4）≥60W/ %；過氧化氫（H2O2）≤0.5W/ %；鐵（Fe）≤0.002W/ %；透明度≥100/mm；色度，深於標準色度；灰分≤0.01 W/ %；砷（As）≤ 0.001W/ %；鉛（Pb）≤0.02 W/ %。
