《金屬多層膜塑性變形機理研究》是依託清華大學，由潘峰擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：金屬多層膜塑性變形機理研究
- 依託單位：清華大學
- 項目負責人：潘峰
- 項目類別：面上項目
- 批准號：50871060
- 申請代碼：E0104
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2009-01-01 至 2011-12-31
- 支持經費：35（萬元）
項目摘要
近年來納米級多層膜材料以其獨特的結構和優異的性能受到人們極大關注，各種不同人工結構和功能的多層膜材料不斷被發明和發現，成為高新材料技術的發展方向。相關材料與器件，特別是眾多柔性多層器件在使用過程中的服役行為成為其發展的關鍵科學問題。本項目擬採用高真空和超高真空下磁控濺射、電子束蒸發技術製備3~4種典型的金屬多層膜，採用納米壓痕儀研究多層膜的力學性能，並結合FIB、透射電鏡等分析壓痕變形區的塑性變形（包括蠕變）特徵，研究多層膜不同周期尺度區間的塑性變形機制；通過多層膜體系組元金屬之間具有不同強度錯配的選擇、周期設計、製備工藝最佳化、熱處理等控制多層膜材料的界面行為和層內組織結構研究多層膜材料塑性變形的局域化特徵與服役行為，從而對多層膜的結構及其塑性變形行為（包括蠕變）有較深入的了解，為具有多層結構的各類材料的發展提供科學依據。
