超高純磷酸的生產工藝，該工藝將電子級黃磷或紅磷(純度≥5N)進經過燃燒、吸收、一次性合成微電子工業用超高純磷酸，其單項金屬雜質最高含量不大於100ppb，非金屬雜質不大於 10ppm；本發明工藝簡單、操作方便、質量便於控制、成品價格大大低於國外同類產品的價格，已經開始工業化生產，解決了我國長期以來該產品一直要依賴進口的情況。
【 權利要求 】 一種超高純磷酸的生產方法，其特徵在於：它採用電子級黃磷或紅磷作為原料，將電子級黃磷或紅磷送入燃燒爐，同時通入經化學處理和過濾器過濾的過量空氣，使其充分燃燒，將產生的氣態P2O5 通入吸收塔中，在吸收塔中採用純淨水進行循環吸收，當循環吸收的磷酸濃度達到85.0％-87.0％後送入成品槽，在整體不大於千級、局部不大於百級的淨化環境下過濾、檢測、包裝。
基本介紹
- 中文名：超高純磷酸
- 生產工藝：將電子級黃磷或紅磷(純度≥5N)進經過燃燒、吸收、一次性合成
