超精密三軸聯動納米級控制及補償技術平台

超精密三軸聯動納米級控制及補償技術平台是一種用於機械工程領域的科學儀器，於2019年5月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：超精密三軸聯動納米級控制及補償技術平台
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2019年5月6日

技術指標

（1） 工作檯面：550�400（mm）（2） T型槽（尺寸*間距*槽數）：14*110*3 mm（3） 行程：X軸、Y軸、Z軸（500mm * 400mm * 300mm）（4） 電主軸：轉速≥30000rmp,額定功7.5kw，最大功率19kw，額定扭矩6.1n.m（5） 重複定位精度：X、Y、Z軸的重複定位誤差≤0.001mm（6） 定位精度：X、Y、Z軸的定位誤差≤0.002mm（7） 速度：切削速度≥24000mm/min 快移速度≥60000mm/min（8） 定位精度：X、Y、Z軸的定位誤差≤0.002mm（9） 速度：切削速度≥24000mm/min 快移速度≥60000mm/min（10） 刀庫：允許刀具20把以上、 刀具最大直徑65mm、 刀具最大長度150mm、 刀具最大重量3kg、 換刀時間2s。

主要功能

三軸高精度運動控制平台，可驗證超精密聯動運動控制的能力及超精密工具機誤差補償的技術，該平台是由配置高速直連電主軸和伺服系統，X、Y、Z由U型直線電機及高精度滾動導軌等部件組成的對稱結構,X、Y、Z三軸均配置高精度絕對式光柵尺，構成高精度全閉環控制,Z軸直線電機具有斷電或掉使能時的自鎖能力,平台採用礦物鑄件基座，Y、Z軸採用橫樑式，確保工具機自身的抖動得到很好的抑制。