《超低介電常數納米多孔薄膜材料的製備和特性研究》是依託蘭州大學，由王印月擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：超低介電常數納米多孔薄膜材料的製備和特性研究
- 依託單位：蘭州大學
- 項目負責人：王印月
- 項目類別：面上項目
- 批准號：50272027
- 申請代碼：E0207
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2003-01-01 至 2005-12-31
- 支持經費：20（萬元）
項目摘要
超.低.介.電.常.數.材.料.(K＜2.2).將.取.代. SiO2.，.在.0.1μm 及.以.下.的.ULSI.中.用.作.Cu.互.連.線.間.的.電.介.質.，.能夠.顯.著.降.低.互.連.延.遲.，.提.高.ULSI.速.度.。.納.米.多孔.材.料.因.具.有.超.低.K.值.而.倍.受.矚.目.。.用.分.子.模板.結.合.溶.膠.凝.膠.方.法.，.制.備.有.序.分.布.的.納.米.多孔.SiO2.和.多.孔.有.機.聚.合.物.薄.膜.材.料.，.研.究.多.孔.結.構.和.介.電.常.數.的.關.系.及.?學.原.位.修.飾.和.等.離子.體.後.處.理.對.多.孔.薄.膜.結.構.和.性.能.的.影.?。..
