《質量管理裝置、質量管理方法及記錄介質》是三菱電機株式會社於2016年3月28日申請的專利，該專利公布號為CN109074051B，專利公布日為2021年6月11日，發明人是上田宜史、今村誠、中村隆顯、平井規郎。
基本介紹
- 中文名：質量管理裝置、質量管理方法及記錄介質
- 授權公告號 ：CN109074051B
- 授權公告日 ：2021.06.11
- 申請號 ：2016800818760
- 申請日：2016.03.28
- 專利權人：三菱電機株式會社
- 地址：日本東京都
- 發明人：上田宜史; 今村誠; 中村隆顯; 平井規郎
- Int. Cl.：G05B19/418(2006.01)I; H01L21/02(2006.01)I; H01L21/66(2006.01)I
- 專利代理機構：北京三友智慧財產權代理有限公司11127
- 代理人：鄧毅; 龔曉娟
- PCT進入國家階段日：2018.08.15
- PCT申請數據：PCT/JP2016/059885 2016.03.28
- PCT公布數據：WO2017/168507 JA 2017.10.05
對比檔案,專利摘要,
對比檔案
CN 104753812 A,2015.07.01; JP 2008065639 A,2008.03.21; US 2011202184 A1,2011.08.18; CN 1296440 A,2001.05.23
專利摘要
質量管理裝置(20)具有：回歸分析部(33)，其根據從前道工序取得的測定值及從後道工序取得的比較用測定值計算回歸式；餘量判定部(34)，其將規定該前道工序中的判定基準範圍的判定基準值代入到該回歸式的解釋變數中計算預測值，將該預測值與後道工序中的比較用判定基準範圍進行比較，判定測定值是否被容許；以及基準值計算部(35)，其根據該判定結果計算應替代判定基準值的新的判定基準值。
