貴州省微納電子與軟體技術重點實驗室

"貴州省微納電子與軟體技術重點實驗室" 是貴州省人民政府依託貴州大學建立的重點實驗室。實驗室於2004年2月經省科技廳批准立項，並由省科技廳和貴州大學共同投資建設，在2007年建設完成驗收並正式對外開放。

基本介紹

• 中文名：貴州省微納電子與軟體技術重點實驗室
• 依託單位：貴州大學
• 投資單位：省科技廳和貴州大學
• 開放時間：2007年

機構簡介

實驗室依託貴州大學微電子學與固體電子學碩士點、博士點和電路與系統碩士點。現有固定研究人員13人，其中博士4人，教授5人，博士導師4人，省管專家3人，碩士導師10人，在讀博士12人，在讀碩士62人。實驗室使用面積700平方米，實驗室儀器設備總值約約1100餘萬元，主要設備有：分子束外延及低溫掃描隧道顯微鏡聯合系統、JGP560CVIII型帶空氣鎖的超高真空多功能濺射系統、三英寸雙極型積體電路生產線一條、低溫超導測試系統等。

實驗室建成後不斷拓展研究領域，目前已建成超導材料與套用研究、低維半導體結構研究、微電子材料研究、新型光電子材料與技術研究、微電子工藝研究、積體電路設計與驗證研究六個研究室。實驗室的主要研究方向：超導薄膜的製備和套用研究，金屬基納米電介質材料的產業化開發，微納器件的基礎物理研究、磁光薄膜的製備及套用研究、環境半導體材料基礎物理和套用研究、積體電路設計及製造工藝研究等方面。

機構成果

自建立以來，已經累計獲國家自然科學基金項目5項，國家部委級科研項目7項，省科技攻關項目3項，省級科學基金和省長基金多項，年縱向科研經費達100萬元以上。發表論文110多篇，核心期刊以上論文40多篇。在超導薄膜的製備和套用研究，金屬基納米電介質材料的產業化開發，微納器件的基礎物理研究、磁光薄膜的製備及套用研究、環境半導體材料基礎物理和套用研究等方面，處於國內先進水平行列。