《諧振式矽微結構壓力感測器最佳化設計與閉環系統實現》是依託北京航空航天大學，由樊尚春擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：諧振式矽微結構壓力感測器最佳化設計與閉環系統實現
- 依託單位：北京航空航天大學
- 項目負責人：樊尚春
- 項目類別：面上項目
- 批准號：50275009
- 申請代碼：E0511
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2003-01-01 至 2005-12-31
- 支持經費：24（萬元）
項目摘要
以電阻激勵、壓阻拾振的諧振式矽微結構壓力感測器為背景，實現矽微感測器在全量程內穩定可靠地以閉環方式工作，保證感測器性能，最佳化設計微感測器的整體結構參數：激勵、拾振電阻的設定與參數以及自激電路的結構開式；針對矽微敏感器實際樣性實現微感測器閉環樣機。研究工作將突破國外在該技術領域上對我國的封鎖，增強獨立研製微感測器的能力。
