波蘭的弗瓦迪斯瓦夫二世 (Władysław II the Exile)大公向神聖羅馬帝國稱臣,但是被親弟驅逐。1163年,他的兩名兒子得到波列斯瓦夫四世批准,分治上和下西里西亞。於是,他們成為皮亞斯特王朝的兩大支系,亦即弗羅茨瓦夫 (Wrocławska) 和奧波萊-拉齊布日 (Opolsko-Raciborska)。這兩支系繼續細分,直到1390年代共有16個公國。
西里西亞的統治者決定重建城市,採用新的行政區劃。他們建立和重建160個城市和1500個市鎮,並採用德意志城邦法令 (馬德堡法令和Środa Śląska 法令) ,取代了故舊、按慣例的斯拉夫式和波蘭式法令。而且,從13世紀末到14世紀初,他們也鼓勵新居民遷到該地,大多是從神聖羅馬帝國而來的德國人和荷蘭人。從13世紀末到14世紀初,西里西亞的公爵吸引很多德國人到該地定居。德國人、猶太人和捷克人多數都在城市定局。在郊區,尤其是上西里西亞,波蘭裔居民仍占大多數。邀請德國人開拓和灌溉貧瘠土地;統治階層與德國和斯拉夫居民同化——這成為後來19世紀與20世紀初,波蘭和德國民族主義者意識形態的紛爭。
13世紀後期
紅星騎士團 (Knights of the Red Star)、醫院騎士團和條頓騎士團先後在西里西亞定居。
17世紀初開始,基督教改革派和反改革派展開宗教衝突和戰爭,迫使很多捷克 (日耳曼與斯拉夫)和西里西亞新教徒逃到當時宗教政策較寬容的波蘭立陶宛聯邦(Polish-Lithuanian Commonwealth)。許多新教徒在大波蘭省定居,並得到新教權貴的保護,例如拉法瓦·勒施欽斯基 (Rafał Leszczyński;1579-1636年)。勢力壯大的捷克新教徒 (Union of the Brethren)遷到了萊什諾(Leszno),例如夸美紐斯。為了規避宗教限制法規,西里西亞的新教徒常常把他們的教堂建在與波蘭接壤的邊界上。
三十年戰爭
神聖羅馬帝國皇帝斐迪南二世企圖復興天主教,鎮壓新教。結果,在1618年,第二次布拉格扔人出窗外事件 (Defenestrations of Prague)發生,間接釀成三十年戰爭。
捷克新教徒得到德國教友和匈牙利貴族的支持。特蘭西瓦尼亞王子、匈牙利貴族拜特倫·加波爾 (Bethlen Gabor) 率軍圍攻維也納,嘗試擴展特蘭西瓦尼亞以至奧斯曼帝國的版圖,兼併波希米亞和西里西亞。波蘭貴族至少口頭上支持捷克人。他們認為捷克和匈牙利貴族是支持自由的人,抵抗專制君主,正好回響波蘭施拉赫塔(Szlachta;中世紀後期波蘭貴族階層) 黃金自由的理想。這些貴族不支持攻打新教徒,而波蘭眾議院 (Sejm) 甚至不準國王西格蒙德三世 (瑞典語:Sigismund III Vasa;波蘭語:Zygmunt III Waza) 幫助其天主教盟友哈布斯堡王朝。國王希望幫助奧地利,但因為簽署了防衛條約,他只能拒絕馬提亞斯皇帝 (Matthias, Holy Roman Emperor)聘用波蘭-立陶宛的軍隊。這是因為波蘭-立陶宛曾分別與瑞典和莫斯科公國交戰而軍力疲乏,更因貴族戰爭在摩達維亞而與奧斯曼帝國關係變差。
最後,在1619年末,西格蒙德三世決定幫助奧地利,但只是派出私人僱傭兵 Lisowczycy。其中一個原因就是,這些士兵在對莫斯科戰爭後失業,轉而到立陶宛大肆搶掠;而且,他也認為可以從奧地利得到部分西里西亞作為報酬。雖然Lisowczycy 在白山之役 (Battle of White Mountain)奠定奧地利的勝利,但波蘭瓦薩王朝 (House of Vasa) 並沒有實際得益。奧地利只是含糊其辭,給他們一些承諾,並讓幾位公主與波蘭皇室聯婚,保持兩國聯盟。
1619年中,波蘭國王在前往西里西亞途中,與長子瓦迪斯瓦夫王子 (亦即後來的波蘭國王瓦迪斯瓦夫四世;Władysław IV Waza) 商議,最後決定由波蘭軍隊暫時占領西里西亞部分地區,希望能將它們與波蘭合併。戰爭期間,神聖羅馬帝國飽受嚴重破壞,一些西里西亞公爵——尤其屬於皮亞斯特王朝的——和弗羅茨瓦夫主教奧地利的查理,都希望得到波蘭-立陶宛聯邦的保護,避免被戰爭波及。奧地利的查理向上級波蘭格涅茲諾(Gniezno) 教區求助,希望它與西格蒙德三世商議保護主教。1619年5月,瓦迪斯瓦夫王子應叔父查理的邀請,離開華沙,前往西里西亞。
1740年,腓特烈大帝奪得西里西亞,受到當地居民的歡迎——不單是新教人口和德裔人口。而普魯士王國也獲得了雙倍的人口。根據布熱格條約(見宗教改革),他以布熱格主權為藉口發動奧地利王位繼承戰爭。戰爭在1748年結束。普魯士奪得西里西亞絕大部分地區,除了其東南方的切申公國和奧帕瓦公國 (Duchy of Opava)仍然屬於奧地利。7年戰爭中,普魯士再度擊敗奧地利,鞏固對西里西亞的統治。西里西亞此後成為對普魯士最忠誠的省份之一。1815年,原本屬於薩克森,格爾利茨附近的地區在拿破崙戰爭後併入西里西亞。這時,德語已經成為下西里西亞最主要語言;郊區的絕大多數居民,則常用受德語影響的波蘭語和捷克語。在多數西里西亞的城市,德語是最常用的語言。
德奧統治
1871年,德意志帝國成立,德國統一。普魯士擁有的西里西亞成為德國的省份。上西里西亞經歷大規模工業化,吸引不少居民到當地居住。下西里西亞的人口大多數是德國人和信義宗教徒,也包括弗羅茨瓦夫——那個自中世紀後期稱為布雷斯勞(Breslau)的城市。不過,在一些地區,例如奧波萊行政區(Landkreis;後來是奧波倫政府區 Regierungsbezirk Oppeln) 和上西里西亞的郊區,很多居民甚至大多數人口都是斯拉夫裔和天主教徒。整體而言,西里西亞人口有三成是波蘭人,而且他們多數居住在卡托維茲附近,亦即上西里西亞東南部。德國總理奧托·馮·俾斯麥發動文化鬥爭 (Kulturkampf),壓制天主教在德國的發展,同時又引起波蘭人的反抗。1884年,Hovevei Zion 團體在卡托維茲召開首輪會議,開啟錫安主義的先聲。
在切申西里西亞,Rada Narodowa Księstwa Cieszyńskiego和Národním Výborem pro Slezsko 計畫將切申公國按照種族劃分界線,不過被捷克斯洛伐克政府否定。1919年1月23日,捷克斯洛伐克攻擊切申西里西亞,不過在1月30日於斯科茨佐夫 (Skoczów)附近的維斯瓦河撤軍。國際聯盟原本計畫為切申西里西亞舉行公投,但沒有實行。1920年7月28日,凡爾賽條約公使議會決定把它分割。該分界組成了今天波蘭和捷克共和國部分邊界。