複合離子注入機

複合離子注入機是一種用於物理學領域的儀器，於2011年12月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：複合離子注入機
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2011年12月6日

技術指標

（a）一個MEVVA型高能金屬離子源；一個高能kaufman氣體離子源。

（b）離子源能量連續可調，氣體源注入電壓可達10-100 KV，金屬源可達10-100 KV，離子源束流可調，最低50μA/cm2，束流最大5mA，束斑100 mm。

主要功能

用金屬離子源和氣體離子源獨立或同時進行樣品的離子注入。