《藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法》是2018年5月1日實施的一項中國國家標準。
基本介紹
- 中文名：藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法
- 外文名：Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
- 標準類別：方法
- 標準號：GB/T 34504-2017
編制進程,起草工作,
編制進程
2017年10月14日，《藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法》發布。
2018年5月1日，《藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法》實施。
起草工作
主要起草單位：天通控股股份有限公司。
主要起草人：康森、宋岩岩、邵峰、沈瞿歡、於震傑。
