薄膜電感器是一種採用真空薄膜工藝製作的電感器，可靠性高，易於集成化和片式化，非常適合於自動化表面裝貼技術(SMT)，並且由於其尺寸小，高頻特性好等優點，已成為國內外研究的熱點。
基本介紹
- 中文名：薄膜電感器
- 外文名：thin film inductor
- 學科：電力工程
- 領域：工程技術
- 範圍：能源
- 釋義：採用真空薄膜工藝製作的電感器
簡介,薄膜電路,混合工藝,
簡介
隨著信息技術的高速發展，要求電子系統中的元器件不斷地向著小、輕、薄、精方向發展。在個人電腦、手機、數位相機，可視電話中，都需要通過升降壓來完成電路電能的供給，而電感器是其中的主要部件之一。通過電感器的薄膜，可以使三維立體結構的磁心電感器向著二維平面結構發展，大大減少系統尺寸，並隨著多種低能耗、高起始磁導率、高飽和磁化強度、寬工作溫度範圍的高頻薄膜軟磁材料的研製成功而使得製作高頻薄膜電感成為現實。
薄膜電路
薄膜電路是將整個電路的電晶體、二極體、電阻、電容和電感等元件以及它們之間的互連引線，全部用厚度在1微米以下的金屬、半導體、金屬氧化物、多種金屬混合相、合金或絕緣介質薄膜，並通過真空蒸發、濺射和電鍍等工藝製成的積體電路。薄膜積體電路中的有源器件，即電晶體，有兩種材料結構形式：一種是薄膜場效應硫化鎘或硒化鎘電晶體，另一種是薄膜熱電子放大器。
混合工藝
實用化的薄膜積體電路採用混合工藝，即用薄膜技術在玻璃、微晶玻璃、鍍釉和拋光氧化鋁陶瓷基片上製備無源元件和電路元件間的連線，再將積體電路、電晶體、二極體等有源器件的晶片和不使用薄膜工藝製作的功率電阻、大容量的電容器、電感等元件用熱壓焊接、超聲焊接、梁式引線或凸點倒裝焊接等方式，就可以組裝成一塊完整的積體電路。
