基本介紹
內容簡介,編輯推薦,
內容簡介
本書以薄膜材料為中心,系統地介紹了薄膜技術中常用的真空技術基礎知識,各種物理和化學氣相沉積技術和方法,薄膜材料的形核及生長理論,薄膜材料微觀結構的形成以及薄膜材料的厚度、微觀結構和成分的表征方法等。在此基礎上,本書還有選擇地討論了薄膜材料在力學、光電子學、磁學等領域的典型套用實例,其中涉及各種機械防護塗層、金剛石膜、光電子器件、集成光學器件、磁記錄及光記錄介質材料等技術。
編輯推薦
本書可作為高等學校材料、物理及相關專業本科生、研究生及老師的教學參考書,也可供從事薄膜材料製備、研究的工程技術人員參考
