基本介紹
- 書名：薄膜材料與薄膜技術第二版
- 頁數：249
- 定價：￥38.00
- 出版時間：2008年01月
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圖書簡介：
ISBN：9787122013149 [十位:7122013146]
重約：0.416KG
內容提要：
本書系統闡述了薄膜材料與薄膜技術的基本原理和基本知識,重點介紹了薄膜材料的真空製備技術、薄膜的化學製備和物理氣相沉積方法、薄膜的形成和生長原理、薄膜的表征,對目前廣泛研究和套用的幾種主要薄膜材料進行了介紹、評述和展望。
本書技術先進,內容實用,適合於從事材料研究的科研、技術人員閱讀參考,同時也可作為高校材料專業教材使用。
圖書目錄：
第一章 真空技術基礎
第一節 真空的基本知識
一、表示真空程度的單位
二、真空區域的劃分
三、固體對氣體的吸附及氣體的脫附
第二節 真空的獲得
一、旋片式機械真空泵
二、複合分子泵
三、低溫泵
第三節 真空的測量
一、電阻真空計
二、熱偶真空計
三、電離真空計
參考文獻
第二章 薄膜製備的化學方法
第一節 熱氧化生長
第二節 化學氣相沉積
一、一般化學氣相沉積反應
二、化學氣相沉積製備薄膜的傳統方法
三、雷射化學氣相沉積
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