薄膜微電池製備設備

薄膜微電池製備設備是一種用於物理學領域的工藝試驗儀器，於2011年10月19日啟用。

基本介紹

• 中文名：薄膜微電池製備設備
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2011年10月19日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

JCP-500|| ||極限真空:7.6X10^-5Pa。

主要功能

磁控/電子束方法製備多層膜，及多種掩膜的更換。