薄膜微區應力分析儀

薄膜微區應力分析儀是一種用於物理學、材料科學領域的物理性能測試儀器，於2016年7月13日啟用。

基本介紹

• 中文名：薄膜微區應力分析儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2016年7月13日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 力學性能測試儀器 > 表面界面張力儀

技術指標

配備連續剛度模組最大載荷：500mN；載荷解析度：50nN；最小接觸力：10μN； 最大壓入深度：500μm；Z方向可變行程：1.5mm；XY方向位移解析度：1μm；放大倍數：光學CCD放大x25，物鏡x10，物鏡x40；框架剛度：~5X106N/m。

主要功能

可用於常規金屬、陶瓷、半導體、有機等塊體材料彈性模量和剛度測試，以及相關薄膜結構材料的彈性模量、剛度測試和粘附力測試。