是一種利用薄膜測量壓力的系統，在工程中有廣泛套用。
基本介紹
- 中文名：薄膜式測壓系統
- 外文名：Diaphragmtype pressure measuring system
原理及套用,薄膜壓力感測器,
原理及套用
薄膜片式壓力感測器由於具有很高的靈敏度，常作為壓力平衡檢測器，用於高精度的流體壓力側量。其次，由於膜片分隔了被測試樣（如某種氣體試樣）與平衡流體（測壓系統中傳遞壓力的流體，如氮氣），因此特別適用於需要保持高純度、定容積或有劇毒、強腐蝕性等場合。膜片的位移一般可通過電容或電阻的變化來確定，下圖是其結構示意圖，圖中感測器為電阻式，當膜片中心與電極接通時電阻為最小值，脫開時電阻即為最大值。
由於膜片的力學性質是隨溫度而變的，因此推動壓力是溫度的函式。對精密側量來說，此關係至為重要。另外膜片的變形以及膜片下的容積，直接影響容積測量的精確度，因此必需建立推動壓力、膜片位移與溫度的關係。推動壓力與溫度的關係一般直接通過實驗測定，不過這種熱平衡條件下的多點測量很花時間。現在已發展了若干種基於彈性理論的計算方法，可以估算膜片位移與壓力的關係。
結構示意圖
薄膜壓力感測器
薄膜 (厚度在10～l0m)壓力感測器按材料的不同可分為多晶矽．多晶鍺、微晶矽．非晶矽及其合金．金屬薄膜等不同類型；這類感測器實際上就是採用薄膜工藝製成的 薄膜壓阻和電容式壓力感測器。多晶矽/多晶鍺感測器的種類較多．最基本的形式是利用LPCVD工藝，在 Si02襯底上形成一層壓阻電橋薄膜及其輸出引線：有些用於高溫測量場合的感測器用氧化層將多晶矽電阻與SiO2膜片隔離，它可以工作在200℃條件下；啞鈴型感測器已經用於衡器產品中。此外，SOI工藝製造的壓力感測器，變送器也開始商品化。我國許多研究機構都能生產薄膜壓力感測器．變送器，例如中航公司的CYB離子束濺社射系列產品．測量 範圍 0～100MPa,溫度範圍-40～+400℃，精度可達0.1%。
