聲表面波器件

聲表面波器件利用聲一電換能器的特徵對壓電材料基片表面上傳播的聲信號進行各種處理，並完成各種功能的固體器件。

它是利用半導體平面工藝在壓電材料基片表面製作出叉指狀的金屬電極(稱作叉指換能器IDT),電極接上交變電壓即可在基片表面激發出聲表面波(SAW),電信號可藉此聲表面波傳遞。

基本介紹

• 中文名：聲表面波器件
• 性質：科學術語

特點

SAW器件是近代聲學中的表面波理論、壓電學研究成果和微電子技術有機結合的產物。所謂SAW，是在壓電固體材料表面產生和傳播、且振幅隨深入固體材料的深度增加而迅速減小的彈性波。與沿固體介質內部傳播的體聲波（BAW）比較，SAW有兩個顯著特點：一是能量密度高；二是傳播速度慢。根據這兩個特性，人們研製出具有不同功能的SAW器件，而且可使這些不同類型的無源器件既薄又輕。

工作原理

SAW器件主要由具有壓電特性的基底材料和在該材料的拋光面上製作的由金屬薄膜組成的相互交錯的叉指狀換能器（IDT）組成。如果在IDT電極兩端加入高頻電信號，壓電材料的表面就會產生機械振動並同時激發出與外加電信號頻率相同的表面聲波，這種表面聲波會沿基板材料表面傳播。如果在SAW傳播途徑上再製作一對IDT電極，則可將SAW檢測並使其轉換成電信號。IDT叉指狀金屬電極藉助於半導體平面工藝技術可以製作。

電信號通過叉指發射換能器轉換成聲信號（聲表面波），在介質中傳播一定距離後到達接收叉指換能器，又轉換成電信號。在這電—聲—電轉換傳遞過程中進行處理加工，從而得到對輸入電信號模擬處理的輸出電信號。

套用領域

可用作濾波器、延遲線、振盪器等。