耗散型石英晶體微天平是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的分析儀器,於2017年1月1日啟用。
基本介紹
- 中文名:耗散型石英晶體微天平
- 產地:德國
- 學科領域:工程與技術科學基礎學科
- 啟用日期:2017年1月1日
- 所屬類別:分析儀器 > 電子光學儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1,離線稱重:晶片離線改性的質量可測量 2,質量精度:0.86ng/Hz,0.2ng/cm2 3,耗散精度:0.04X10-6。
主要功能
石英晶體微天平利用了石英晶體的壓電效應,將石英晶體電極表面質量變化轉化為石英晶體振盪電路輸出電信號的頻率變化,進而通過計。