納米粒子沉積系統

納米粒子沉積系統是一種用於機械工程領域的儀器，於2017年7月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米粒子沉積系統
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2017年7月6日

技術指標

產生室極限真空度6.6×10^-5Pa，本底真空度6.6×10^-4Pa；過濾室極限真空度6.6×10^-4Pa，本底真空度1.0×10^-3Pa；沉積室極限真空度2.0×10^-5Pa，本底真空度6.6×10^-4Pa；樣品台加熱500度。

主要功能

適用於多種材料的功能薄膜如金屬及合金薄膜、氧化物薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、鐵磁薄膜、磁性薄膜等的研製開發。