納米力學性能綜合測試儀是一種用於機械工程、材料科學領域的物理性能測試儀器，於2018年12月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：納米力學性能綜合測試儀
- 產地：美國
- 學科領域：機械工程、材料科學
- 啟用日期：2018年12月1日
- 所屬類別：物理性能測試儀器 > 力學性能測試儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1. 微納米壓痕功能（滿足大載荷和高精度模式不同測試條件）br / 1.1 標準壓痕功能br / （1） 最大壓痕深度span /span500mbr / （2）位移解析度span /span0.02nmbr / （3） 最大載荷span /span500mNbr / （4）載荷解析度span /span50nNbr / 1.2 高解析度載入模式（測試超薄膜）br / （1）位移解析度span /span0.0002 nmbr / （2） 最大載荷span /span30mNbr / （3） 載荷解析度span /span3nNbr / br / 1.3 大載荷模式br / （1）軟體控制並實現高載荷和標準壓痕模式之間互相轉換c最大壓痕載荷span /span10Nbr / （2） 載荷解析度：span /span50nNbr / （3）位移解析度span /span0.02nmbr / （4） 最大壓痕載荷span /span10Nbr /。
主要功能
納米力學性能綜合測試系統可以測量壓痕載荷、壓入深度、接觸剛度、硬度、彈性模量；斷裂韌性；蠕變應力指數；貯存模量、損耗模量和阻尼等，而納米劃痕模式可以獲得磨擦係數；劃痕臨界載荷（薄膜與基底材料之間的臨界結合力）；劃痕硬度；定量表面形貌測量例如台階儀功能；納米力學顯微鏡則利用原位掃描模式給出表面粗糙度；壓、劃痕前後的定量三維圖像以及實現超高精度定位納米壓痕測量，通過新增的X，Y方向的閉環反饋控制實現了納米量級的定位精度。
