納米列印系統

納米列印系統是一種用於材料科學、電子與通信技術領域的科學儀器，於2017年2月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米列印系統
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2017年2月10日

技術指標

（1）軟體精密控制定位的底台；16×12cm的底板以及列印範圍；（2）X-Y 運動底台重複定位精度到±20um （3）Z軸手動可調，控制噴頭高度；連續列印模式以及按需列印模式；任意解析度列印和任意方向列印；複雜腳本編程列印；旋轉角度可軟體校正； （4）成15°角安裝的CCD相機，用於觀測液滴狀態和特徵定位；底台防震機構；氣壓控制和溫度控制模組；電控制模組實現雙極波形和任意波形，有單一模式和脈衝模式。

主要功能

納米材料沉積噴墨列印技術，屬於“直寫”技術，可以靈活地實現各種圖形。墨匣為可灌注結構，並自帶廢液收集及清洗功能，可以方便地更換墨水，而實現多層有機薄膜材料的圖形化。墨水的粘度範圍寬，適合於各種聚合物的沉積。該設備可以實現納米金屬布線的直接列印，也可以直接列印出光刻膠的圖形，從而略去光刻中的曝光和顯影兩個步驟，簡化工藝，節省光刻版的製版費用。該設備還可以製備生物分子、DNA等薄膜。該設備也可直接製備出基於聚合物的波導、稜鏡等光學元件，甚至實現倒裝焊凸點的製作等微電子加工功能。綜上所述，納米材料沉積設備是一台。