納米光電子器件光學性質的實時光譜學分析和研究

《納米光電子器件光學性質的實時光譜學分析和研究》是依託復旦大學，由陳良堯擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：納米光電子器件光學性質的實時光譜學分析和研究
• 依託單位：復旦大學
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：陳良堯
• 批准號：60277031
• 申請代碼：F0502
• 負責人職稱：教授
• 研究期限：2003-01-01 至 2005-12-31
• 支持經費：24（萬元）

項目摘要

本課題將研究納米光電子器件製備過程中器件的光學性質，研究適用於真空環境的快速光譜檢測和分析的原理和方法，有效解決全光譜檢測、速度和高光譜分辯之間的矛盾，掌握核心技術，獲得光子器件製備過程中折射率，反射、透射、頻寬、膜厚等參數隨工藝條件的光信息變化，提高器件質量，研究成果將顯著提高我國高性能光電子器件和技術的研究水平。