《空天飛行器相關微系統的動態失效模式和機理》是依託中國科學院力學研究所,由趙亞溥擔任項目負責人的重大研究計畫。
基本介紹
- 中文名:空天飛行器相關微系統的動態失效模式和機理
- 項目類別:重大研究計畫
- 項目負責人:趙亞溥
- 依託單位:中國科學院力學研究所
- 批准號:90305020
- 申請代碼:A0805
- 負責人職稱:研究員
- 研究期限:2004-01-01 至 2006-12-31
- 支持經費:30(萬元)
項目摘要
MEMS在空天套用的潛力是巨大的,但是可靠性問題(特別是衝擊過載所引起的可靠性問題)成為限制MEMS在空天方面得到廣泛套用的主要因素之一。以空天飛行器相關的微電子機械系統(如微加速度計、微陀螺儀及其慣性組合、射頻MEMS開關等)為背景,結合先期初步實驗中所得到的一些實驗現象(如衝擊引起的微加速度計內部結構的破碎,以及衝擊所引起的不同微結構界面間的粘著失效等),並通過新的動態衝擊實驗,得到相關微系統器件的動態失效模式,研究其動態失效機理,建立其動態失效模型,將所得的理論模型對相關微系統器件的設計進行反饋,